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アイテム
Raspberry Piボードを用いたウェハーアラインメントシステムの実装と評価
https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/records/226822
https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/records/226822e804e554-e7ab-4004-a78a-dfd74aeab884
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
IPSJ-EMB23063003.pdf (2.3 MB)
2025年7月7日からダウンロード可能です。
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Copyright (c) 2023 by the Information Processing Society of Japan
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| 非会員：¥660, IPSJ:学会員：¥330, EMB:会員：¥0, DLIB:会員：¥0 | ||
| Item type | SIG Technical Reports(1) | |||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2023-07-07 | |||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||
| タイトル | Raspberry Piボードを用いたウェハーアラインメントシステムの実装と評価 | |||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||
| キーワード | ||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||
| 主題 | ロボット・画像処理 | |||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18gh | |||||||||||||||
| 資源タイプ | technical report | |||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||
| 岡山県立大学 | ||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||
| 岡山県立大学 | ||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||
| タツモ株式会社 | ||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||
| タツモ株式会社 | ||||||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||||||
| 岡山県立大学 | ||||||||||||||||
| 著者所属(英) | ||||||||||||||||
| en | ||||||||||||||||
| Okayama Prefectural University | ||||||||||||||||
| 著者所属(英) | ||||||||||||||||
| en | ||||||||||||||||
| Okayama Prefectural University | ||||||||||||||||
| 著者所属(英) | ||||||||||||||||
| en | ||||||||||||||||
| TAZMO CO., LTD. | ||||||||||||||||
| 著者所属(英) | ||||||||||||||||
| en | ||||||||||||||||
| TAZMO CO., LTD. | ||||||||||||||||
| 著者所属(英) | ||||||||||||||||
| en | ||||||||||||||||
| Okayama Prefectural University | ||||||||||||||||
| 著者名 |
井出, 創一朗
× 井出, 創一朗
× 横川, 智教
× 坂田, 功介
× 山本, 真裕
× 有本, 和民
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| 論文抄録 | ||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||
| 内容記述 | 半導体製造プロセスにおいてはシリコンウェハーに対し様々なプロセス処理を行うが，その際にウェハーの位置合わせ（アラインメント）を行う必要がある．従来のウェハーアラインメントでは，産業カメラや IR カメラ等によりウェハー上のアラインメントマークを撮影し，ウェハー間の誤差を計測することでアラインメント処理を実現していた．しかしながら，従来のシステムは高価なカメラを用いる必要があり，それを制御するためにも高性能な計算機が必要であるため，導入コストが非常に大きくなっていた．本研究では，画像の取得およびアラインメントの計測に Raspberry Pi と安価なカメラを用いることで，低コストでウェハーアラインメントを実現することを目的とする．さらに，撮影した画像に対してソフトウェアによる画像処理を施すことで，低解像度のカメラでも十分な精度を実現する． | |||||||||||||||
| 書誌レコードID | ||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA12149313 | |||||||||||||||
| 書誌情報 |
研究報告組込みシステム（EMB） 巻 2023-EMB-63, 号 3, p. 1-7, 発行日 2023-07-07 |
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| ISSN | ||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||
| 収録物識別子 | 2188-868X | |||||||||||||||
| Notice | ||||||||||||||||
| SIG Technical Reports are nonrefereed and hence may later appear in any journals, conferences, symposia, etc. | ||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||
| 出版者 | 情報処理学会 | |||||||||||||||
