@techreport{oai:ipsj.ixsq.nii.ac.jp:00226822,
 author = {井出, 創一朗 and 横川, 智教 and 坂田, 功介 and 山本, 真裕 and 有本, 和民},
 issue = {3},
 month = {Jul},
 note = {半導体製造プロセスにおいてはシリコンウェハーに対し様々なプロセス処理を行うが，その際にウェハーの位置合わせ（アラインメント）を行う必要がある．従来のウェハーアラインメントでは，産業カメラや IR カメラ等によりウェハー上のアラインメントマークを撮影し，ウェハー間の誤差を計測することでアラインメント処理を実現していた．しかしながら，従来のシステムは高価なカメラを用いる必要があり，それを制御するためにも高性能な計算機が必要であるため，導入コストが非常に大きくなっていた．本研究では，画像の取得およびアラインメントの計測に Raspberry Pi と安価なカメラを用いることで，低コストでウェハーアラインメントを実現することを目的とする．さらに，撮影した画像に対してソフトウェアによる画像処理を施すことで，低解像度のカメラでも十分な精度を実現する．},
 title = {Raspberry Piボードを用いたウェハーアラインメントシステムの実装と評価},
 year = {2023}
}