| Item type |
SIG Technical Reports(1) |
| 公開日 |
2023-07-07 |
| タイトル |
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タイトル |
Raspberry Piボードを用いたウェハーアラインメントシステムの実装と評価 |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
ロボット・画像処理 |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_18gh |
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資源タイプ |
technical report |
| 著者所属 |
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岡山県立大学 |
| 著者所属 |
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岡山県立大学 |
| 著者所属 |
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タツモ株式会社 |
| 著者所属 |
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タツモ株式会社 |
| 著者所属 |
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岡山県立大学 |
| 著者所属(英) |
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en |
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Okayama Prefectural University |
| 著者所属(英) |
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en |
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Okayama Prefectural University |
| 著者所属(英) |
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en |
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TAZMO CO., LTD. |
| 著者所属(英) |
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en |
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TAZMO CO., LTD. |
| 著者所属(英) |
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en |
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Okayama Prefectural University |
| 著者名 |
井出, 創一朗
横川, 智教
坂田, 功介
山本, 真裕
有本, 和民
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| 論文抄録 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
半導体製造プロセスにおいてはシリコンウェハーに対し様々なプロセス処理を行うが，その際にウェハーの位置合わせ（アラインメント）を行う必要がある．従来のウェハーアラインメントでは，産業カメラや IR カメラ等によりウェハー上のアラインメントマークを撮影し，ウェハー間の誤差を計測することでアラインメント処理を実現していた．しかしながら，従来のシステムは高価なカメラを用いる必要があり，それを制御するためにも高性能な計算機が必要であるため，導入コストが非常に大きくなっていた．本研究では，画像の取得およびアラインメントの計測に Raspberry Pi と安価なカメラを用いることで，低コストでウェハーアラインメントを実現することを目的とする．さらに，撮影した画像に対してソフトウェアによる画像処理を施すことで，低解像度のカメラでも十分な精度を実現する． |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA12149313 |
| 書誌情報 |
研究報告組込みシステム（EMB）
巻 2023-EMB-63,
号 3,
p. 1-7,
発行日 2023-07-07
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
2188-868X |
| Notice |
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SIG Technical Reports are nonrefereed and hence may later appear in any journals, conferences, symposia, etc. |
| 出版者 |
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言語 |
ja |
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出版者 |
情報処理学会 |
IPSJ-EMB23063003.pdf (2.3 MB)
