Self-Aligned Double Patterningのための柔軟な2彩色配線法の提案

• Item type: Symposium(1)
• 公開日: 2016-09-07
• タイトル: Self-Aligned Double Patterningのための柔軟な2彩色配線法の提案
• タイトル / 言語: en
• タイトル: Flexible Two-Colorable Routing for Self-Aligned Double Patterning
• 言語: jpn
• キーワード / 主題Scheme: Other
• キーワード / 主題: 物理設計･回路設計
• 資源タイプ / 資源タイプ識別子: http://purl.org/coar/resource_type/c_5794
• 資源タイプ: conference paper
• 著者所属: 東京工業大学工学院情報通信系
• 著者所属: 東京工業大学工学院情報通信系
• 著者所属: 東京工業大学工学院情報通信系
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Department of Information and Communications Engineering, Tokyo Institute of Technology
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Department of Information and Communications Engineering, Tokyo Institute of Technology
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Department of Information and Communications Engineering, Tokyo Institute of Technology
• 著者名: 木村, 優介; 佐藤, 真平; 高橋, 篤司
• 著者名(英): Yusuke, Kimura; Shinpei, Sato; Atsushi, Takahashi
• 論文抄録 / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録 / 内容記述: Self-Aligned Double Patterning（SADP） は，側壁スペーサープロセスを用いて微細なパターンを実現するが，SADP で実現できるパターンは 2 彩色可能なパターンに限られる．SADP で実現可能なパターンで配線を実現する様々な配線手法が提案されているが，配線の色を決めながら逐次的に配線を行う配線手法では，既配線の経路と決められた色の影響で，2 彩色可能な配線パターンが得られないことがある．本稿では，配線の色を確定せず逐次的に配線を行うが，配線の色が既配線と同色となるか異色となるかを考慮しながら，できる限り 2 彩色可能性を失わない配線経路を選択することで，2 彩色可能な配線パターンを得られる可能性を高める柔軟な 2 彩色配線手法を提案する．
• 論文抄録(英) / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録(英) / 内容記述: Self-Aligned Double Patterning (SADP) realizes fine pitch patterns by using sidewall process, but a pattern must be two-colorable. There are various routing methods for SADP in order to obtain a routing pattern that is two-colorable and that can be realized by SADP. However, a two-colorable routing pattern might not be obtained if a route is iteratively generated with color assignment. In this paper, we propose a flexible routing method for SADP. In our proposed method, a route is iteratively generated without color assignment, but two-colorability of routing pattern is maintained as much as possible during routing by taking the constraint on two-colorability into account, and the probability to obtain a two-colorable routing pattern is increased.
• 書誌情報: DAシンポジウム2016論文集; 巻 2016, 号 6, p. 26-31, 発行日 2016-09-07
• 出版者 / 言語: ja
• 出版者: 情報処理学会