WEKO3
アイテム
Self-Aligned Quadruple Patterningのための配線パターンの効率的な生成手法
https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/records/144818
https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/records/144818317937cf-79ef-4cd8-8834-4510983c7679
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
IPSJ-DAS2015025.pdf (3.3 MB)
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Copyright (c) 2015 by the Information Processing Society of Japan
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| オープンアクセス | ||
| Item type | Symposium(1) | |||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2015-08-19 | |||||||||||
| タイトル | ||||||||||||
| タイトル | Self-Aligned Quadruple Patterningのための配線パターンの効率的な生成手法 | |||||||||||
| 言語 | ||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||
| キーワード | ||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||
| 主題 | 物理設計・回路設計 | |||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||||||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||
| 東京工業大学大学院通信情報工学専攻 | ||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||
| 東京工業大学大学院通信情報工学専攻 | ||||||||||||
| 著者所属 | ||||||||||||
| 東京工業大学通信情報工学専攻 | ||||||||||||
| 著者所属(英) | ||||||||||||
| en | ||||||||||||
| Tokyo Institute of Technology | ||||||||||||
| 著者所属(英) | ||||||||||||
| en | ||||||||||||
| Tokyo Institute of Technology | ||||||||||||
| 著者所属(英) | ||||||||||||
| en | ||||||||||||
| Tokyo Institute of Technology | ||||||||||||
| 著者名 |
井原, 岳志
× 井原, 岳志
× 本江, 俊幸
× 高橋, 篤司
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| 著者名(英) |
Takeshi, Ihara
× Takeshi, Ihara
× Toshiyuki, Hongo
× Atsushi, Takahashi
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| 論文抄録 | ||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||
| 内容記述 | Self-Aligned Quadruple Patterning(SAQP) は 14nm ノードにおける有望な製造技術である．SAQP のための様々な配線アルゴリズムが提案されているが，高密度な SAQP のための配線パターンを効率的に 生成することは容易ではない． SAQP のための配線パターンを効率的に生成するために部分的に色が塗ら れたグリッドが提案されているが，そのグリッド上で許容できる配線パターンを見つけることは容易でな い．グリッド上の SAQP の配線パターンは 3 つの種類の配線から構成される．その中で， 3 つ目のタイプの 配線は折れ曲がり制約を持つ．一般的な幅優先探索アルゴリズムでは，領域が混雑すると，許容できる配線 を見つけるのにたびたび失敗する．本稿では，探索において終端ピンの周りに禁止グリッドを設けること で，折れ曲がり制約を満たした配線パターンの生成の失敗を抑制する配線アルゴリズムを提案する．実験に よって，効率よく SAQP のための配線パターンが得られていることを示した． | |||||||||||
| 書誌情報 |
DAシンポジウム2015論文集 巻 2015, p. 125-130, 発行日 2015-08-19 |
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| 出版者 | ||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||
| 出版者 | 情報処理学会 | |||||||||||
