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アイテム / A Fast Look Up Table Based Lithography Simulator with SOCS Model for OPC Algorithm / IPSJ-DAS2020024
IPSJ-DAS2020024
IPSJ-DAS2020024.pdf
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https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/record/206652/files/IPSJ-DAS2020024.pdf
| ファイル | ライセンス |
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 IPSJ-DAS2020024.pdf (2.1 MB)
sha256
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Copyright (c) 2020 by the Information Processing Society of Japan |
| 公開日 | 2020-08-31 | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 表示名 | IPSJ-DAS2020024.pdf | |||||
| 本文URL | https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/record/206652/files/IPSJ-DAS2020024.pdf | |||||
| ラベル | IPSJ-DAS2020024.pdf | |||||
| フォーマット | application/pdf | |||||
| サイズ | 2.1 MB | |||||
| 価格情報 | ||||||
| ロール | 非会員 | |||||
| 税 | 税込 | |||||
| 価格 | 660 | |||||
| ロール | IPSJ:学会員 | |||||
| 税 | 税込 | |||||
| 価格 | 330 | |||||
| ロール | SLDM:会員 | |||||
| 税 | 税込 | |||||
| 価格 | 0 | |||||
| ロール | DLIB:会員 | |||||
| 税 | 税込 | |||||
| 価格 | 0 | |||||
| Version | Date Modified | Object File Name | File Size | File Hash Value | Contributor Name | Show/Hide |
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