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LSIマスクアートワーク解析システムとその応用
https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/records/28551
https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/records/285514b936c01-fb89-4184-9835-8847cabc801e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
IPSJ-SLDM80007003.pdf (1.7 MB)
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Copyright (c) 1980 by the Information Processing Society of Japan
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| オープンアクセス | ||
| Item type | SIG Technical Reports(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 1980-12-16 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | LSIマスクアートワーク解析システムとその応用 | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18gh | |||||||
| 資源タイプ | technical report | |||||||
| 著者所属 | ||||||||
| 東京芝浦電気（株）半導体事業部 | ||||||||
| 著者所属 | ||||||||
| 東京芝浦電気（株）半導体事業部 | ||||||||
| 著者所属 | ||||||||
| 東京芝浦電気（株）半導体事業部 | ||||||||
| 著者所属 | ||||||||
| 東京芝浦電気（株）半導体事業部 | ||||||||
| 著者名 |
千葉俊明
× 千葉俊明
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| 書誌レコードID | ||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||
| 収録物識別子 | AA11451459 | |||||||
| 書誌情報 |
情報処理学会研究報告システムLSI設計技術（SLDM） 巻 1980, 号 35(1980-SLDM-007), p. 1-10, 発行日 1980-12-16 |
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| Notice | ||||||||
| SIG Technical Reports are nonrefereed and hence may later appear in any journals, conferences, symposia, etc. | ||||||||
| 出版者 | ||||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 出版者 | 情報処理学会 | |||||||
