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投影エッジ相関法(2)LSI配線の自動プロービング
https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/records/122272
https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/records/122272e46d9f90-9446-4e87-9a80-ec1de5ce8225
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KJ00001343969.pdf (168.2 kB)
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| Item type | National Convention(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 1992-09-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 投影エッジ相関法(2)LSI配線の自動プロービング | |||||
| タイトル | ||||||
| 言語 | en | |||||
| タイトル | Automatic EB probing on an LSl interconnection line using Projection Edge-extraction Correlation Sequence | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 株式会社富士通研究所 厚木研究所 | ||||||
| 著者所属 | ||||||
| 株式会社富士通研究所 厚木研究所 | ||||||
| 著者所属 | ||||||
| 株式会社富士通研究所 厚木研究所 | ||||||
| 著者所属(英) | ||||||
| en | ||||||
| FUJITSU LABORATORIES LTD.,ATSUGI | ||||||
| 著者所属(英) | ||||||
| en | ||||||
| FUJITSU LABORATORIES LTD.,ATSUGI | ||||||
| 著者所属(英) | ||||||
| en | ||||||
| FUJITSU LABORATORIES LTD.,ATSUGI | ||||||
| 論文抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 自動プロービングへの応用を通して投影エッジ相関法の実用性の評価を行うことを目的として,投影エッジ相関法による電子ビーム(EB)自動位置決め処理をEBテスタに組み込み,LSI内部配線の自動プロービングを行った。本報告では,まず自動プロービングの構成を記し,次に測定シーケンスの正常動作の検証,位置決め精度・処理時間の評価を行った結果について述べる。 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00349328 | |||||
| 書誌情報 |
全国大会講演論文集 巻 第45回, 号 データ処理, p. 439-440, 発行日 1992-09-28 |
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| 出版者 | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | 情報処理学会 | |||||
