@techreport{oai:ipsj.ixsq.nii.ac.jp:00240471, author = {杉本, 太郎 and 岸田, 亮}, issue = {4}, month = {Oct}, note = {MOSFET の信頼性における問題の 1 つであるバイアス温度不安定性 (Bias Temperature Instability,BTI) は,MOSFET のゲート酸化膜に電圧を印加することで,チャネルに誘起される電荷量が少なくなり,動作電流の減少やしきい値の劣化が起こる現象である.さらに BTI による劣化はストレスがないときには回復する.この現象を回路レベルで評価をするために,2 入力と 4 入力の論理ゲートを用いたリングオシレータの発振回数を測定し,発振周波数の劣化率を評価する.本回路を用いた測定により,PMOS と NMOS それぞれの BTI による劣化度合いとしきい値の変化を求めることができ,回路レベルでの評価ができる.現時点では測定用の回路基板作成が完了し,本測定に向けて制御信号記述などの準備を行っている.}, title = {2入力と4入力の論理ゲートで構成されたリングオシレータを用いた経年劣化測定のための検討}, year = {2024} }