代表クリップ生成を考慮したレイアウトパターン分類問題における改良手法～ Chang らの判定法の解析に基づいた手法の提案 ～

• Item type: SIG Technical Reports(1)
• 公開日: 2021-11-24
• タイトル: 代表クリップ生成を考慮したレイアウトパターン分類問題における改良手法～ Chang らの判定法の解析に基づいた手法の提案 ～
• タイトル / 言語: en
• タイトル: An Improved Method of Layout Pattern Classification with Creating Representative Clip
• 言語: jpn
• キーワード / 主題Scheme: Other
• キーワード / 主題: DFMおよびモデリング手法
• 資源タイプ / 資源タイプ識別子: http://purl.org/coar/resource_type/c_18gh
• 資源タイプ: technical report
• 著者所属: 東京農工大学工学府電気電子工学専攻
• 著者所属: 東京農工大学工学府電気電子工学専攻
• 著者所属: 東京農工大学工学府電気電子工学専攻
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Tokyo University of Agriculture and Technology
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Tokyo University of Agriculture and Technology
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Tokyo University of Agriculture and Technology
• 著者名: 桝谷, 智哉; 石野, 修平; 藤吉, 邦洋
• 著者名(英): Tomoya, Masutani; Shuhei, Ishino; Kunihiro, Fujiyoshi
• 論文抄録 / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録 / 内容記述: 近年，半導体の微細化が進んだために，露光の際に短絡や断線などの問題が生じる可能性が高い箇所（ホットスポット）の発生をデザインルールの遵守では十分に防げず，高い歩留まりを維持できなくなっている．ホットスポットの検出はリソグラフィシミュレーションで可能だが，多大な計算時間を要するため，近年では代替手法としてパターンマッチングによる検出手法が実用化されている．その検出で用いるライブラリは，既知のホットスポットを中心にして，指定サイズの正方形の枠で切り出した領域である「クリップ」について，どのクリップについても代表クリップの中に “似た” ものがあるという条件で，できるだけ少ない数の代表クリップを選出して作成する．しかし，入力として与えられたクリップのうち多くのものと 類似したクリップを生成することができれば，よりライブラリのサイズを削減できる可能性がある．そこで本稿では，代表クリップの生成を考慮した分類手法について述べる．2 つのクリップが“似た” と判断する基準には，「辺の移動幅条件」を一般化したものを用い，クリップ対がその条件を満たすか否かの Chang らの判定法を利用する．それを基にして，「代表クリップ生成条件」を示し，2 種類のアルゴリズム，分枝限定法による手法と逐次的な手法を考案し，それらの手法で代表クリップ候補を求める．そこで生成したクリップを用いて分類を行う問題を２部グラフの最小支配集合問題と捉え，代表クリップ生成を考慮 した分類を計算機実装して実験を行い，有効性を確認する．
• 論文抄録(英) / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録(英) / 内容記述: Layout of VLSI is designed according to design rules, however, hotspots may remain due to feature size shrinking. Recently, we proposed a method of grouping layout clips of hotspots according to the similarity to create library, which will be used to detect hotspots from new layout. The grouping of layout clips is called Layout Pattern Classification. In this paper, we propose a method of Layout Pattern Classification considering representative clip creation in order to decrease the number of groups. Experimental results indicate the effectiveness of the proposed method.
• 書誌レコードID / 収録物識別子タイプ: NCID
• 書誌レコードID / 収録物識別子: AA11451459
• 書誌情報: 研究報告システムとLSIの設計技術（SLDM）; 巻 2021-SLDM-196, 号 36, p. 1-6, 発行日 2021-11-24
• ISSN / 収録物識別子タイプ: ISSN
• ISSN / 収録物識別子: 2188-8639
• Notice: SIG Technical Reports are nonrefereed and hence may later appear in any journals, conferences, symposia, etc.
• 出版者 / 言語: ja
• 出版者: 情報処理学会