RF 回路の同時測定におけるウェハー面上ダイ特性ばらつきモデル化

• Item type: SIG Technical Reports(1)
• 公開日: 2021-11-24
• タイトル: RF 回路の同時測定におけるウェハー面上ダイ特性ばらつきモデル化
• タイトル / 言語: en
• タイトル: Wafer-level Variation Modeling for Multi-site Testing of RF Circuits
• 言語: eng
• キーワード / 主題Scheme: Other
• キーワード / 主題: DFMおよびモデリング手法
• 資源タイプ / 資源タイプ識別子: http://purl.org/coar/resource_type/c_18gh
• 資源タイプ: technical report
• 著者所属: 島根大学
• 著者所属: 奈良先端科学技術大学院大学
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Shimane University
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Nara Institute of Science and Technology
• 著者名: ミアリアーズ, ウル ハック; 新谷, 道広
• 著者名(英): Riaz-ul-haque, Mian; Michihiro, Shintani
• 論文抄録 / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録 / 内容記述: 少数の測定結果からウェーハ全体のチップ特性予測手法は，量産テストのテスト品質を損なうことなくテストコストを削減する手法として注目を集めている．本論文では，高周波（Radio frequency, RF）回路の同時測定テストに向けたウェーハレベル特性予測モデル化手法を提案する．RF 回路の同時測定では，プローブ回路の寄生成分に起因するサイト間の特性ばらつきが顕在化するが，提案手法は，ガウス過程によるモデル化をサイト毎に階層的に行うことで，推定精度の向上を図る．さらに，実測数の最小化を目的に，アクティブサンプリング方法を提案する．RF 回路の量産データを用いた評価により，既存手法と比べて，提案手法は推定誤差を 1/19 に低減できることを示す．さらに，提案サンプリング手法により，十分な推定精度を保持しつつ，測定数を 97 ％削減できた．
• 論文抄録(英) / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録(英) / 内容記述: Wafer-level performance prediction has been attracting attention to reduce measurement costs without compromising test quality in production tests. Although several efficient methods have been proposed, the site-to-site variation, which is often observed in multi-site testing for radio frequency circuits, has not yet been addressed. In this paper, we propose a wafer-level performance prediction method for multi-site testing that can consider the site-to-site variation. The proposed method is based on the Gaussian process, improving the prediction accuracy by extending hierarchical modeling to exploit the test site information provided by test engineers. In addition, we propose an active test-site sampling method to maximize measurement cost reduction. Through experiments using production test data, we demonstrate that the proposed method can reduce the estimation error to 1/19 of that obtained using a conventional method. We also demonstrate that the proposed sampling method can reduce the number of the measurements by 97% while achieving sufficient estimation accuracy.
• 書誌レコードID / 収録物識別子タイプ: NCID
• 書誌レコードID / 収録物識別子: AA11451459
• 書誌情報: 研究報告システムとLSIの設計技術（SLDM）; 巻 2021-SLDM-196, 号 34, p. 1-6, 発行日 2021-11-24
• ISSN / 収録物識別子タイプ: ISSN
• ISSN / 収録物識別子: 2188-8639
• Notice: SIG Technical Reports are nonrefereed and hence may later appear in any journals, conferences, symposia, etc.
• 出版者 / 言語: ja
• 出版者: 情報処理学会