球状弾性表面波センサを用いる微量水分インバースガスクロマトグラフィの基礎検討

• Item type: SIG Technical Reports(1)
• 公開日: 2021-02-24
• タイトル: 球状弾性表面波センサを用いる微量水分インバースガスクロマトグラフィの基礎検討
• タイトル / 言語: en
• タイトル: Fundamental Study of Trace Moisture Inverse Gas Chromatography Using Ball Surface Acoustic Wave Sensor
• 言語: jpn
• キーワード / 主題Scheme: Other
• キーワード / 主題: US1
• 資源タイプ / 資源タイプ識別子: http://purl.org/coar/resource_type/c_18gh
• 資源タイプ: technical report
• 著者所属: 東北大学大学院工学研究科
• 著者所属: 東北大学大学院工学研究科
• 著者所属: 東北大学大学院工学研究科
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Graduate School of Engineering, Tohoku University
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Graduate School of Engineering, Tohoku University
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Graduate School of Engineering, Tohoku University
• 著者名: 辻, 俊宏; 小原, 良和; 三原, 毅
• 著者名(英): Toshihiro, Tsuji; Yoshikazu, Ohara; Tsuyoshi, Mihara
• 論文抄録 / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録 / 内容記述: 高純度ガスを扱うためのステンレス配管システムにおいては極低濃度の水分 (微量水分) の吸脱着が問題になり得る．その調査には規定濃度のプローブガスの通過挙動を測定するインバースガスクロマトグラフィ (IGC) が有効と考えられるが，検出器の小型化やユーティリティの確保に課題があり，現場配管に適用可能な計測法はまだ開発されていない．本稿では球状弾性表面波センサによる微量水分測定を用いた IGC について基礎検討を行った結果を報告する．
• 論文抄録(英) / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録(英) / 内容記述: The adsorption and desorption of the trace moisture less than 1ppmv may cause the problems in stainless-steel tube system for highly pure gas. A concept of inverse gas chromatography (IGC), that measures the behavior of probe gas with known concentration passing through, is useful for the inspection. However, on-site measurement method has not been developed because of difficulties in down-sizing and preparing the equipment such as vacuum pumping and sufficient power source. In this paper, we report preliminary results for realizing IGC using the ball surface acoustic wave trace moisture sensor.
• 書誌レコードID / 収録物識別子タイプ: NCID
• 書誌レコードID / 収録物識別子: AN10442647
• 書誌情報: 研究報告音声言語情報処理（SLP）; 巻 2021-SLP-136, 号 2, p. 1-6, 発行日 2021-02-24
• ISSN / 収録物識別子タイプ: ISSN
• ISSN / 収録物識別子: 2188-8663
• Notice: SIG Technical Reports are nonrefereed and hence may later appear in any journals, conferences, symposia, etc.
• 出版者 / 言語: ja
• 出版者: 情報処理学会