@techreport{oai:ipsj.ixsq.nii.ac.jp:00206298, author = {田中, 博基 and 木村, 泰己 and 松縄, 哲明 and 三本木, 省次 and 髙田, 雅美 and 木村, 欣司 and 中村, 佳正}, issue = {3}, month = {Jul}, note = {半導体製造において,リソグラフィシミュレーションモデルが重要である.このモデルを構築する際,大規模密行列の部分特異値分解が必要となる.部分特異値分解のための方法として,AIRLB(augmented implicitly restarted Lanczos bidiagonalization)アルゴリズムがある.本稿では,大規模密行列の部分特異値分解のために,AIRLB アルゴリズムの改良を行う.改良法では,計算途中で必要となる小さな行列の特異値分解のために,QR アルゴリズムではなく,OQDS(orthogonal-qd-with-shift)アルゴリズムを適用する.これにより,高精度な特異値を持つ特異値分解が行われる.数値実験の結果,既存の QR アルゴリズムを用いる AIRLB アルゴリズムと比較して,提案した改良が有効に機能していることが確認できる.精密な議論を行うため, 大規模疎行列と大規模密行列の両方を実験の対象としている.}, title = {大規模行列の特異値分解へのOQDS法の適用}, year = {2020} }