@techreport{oai:ipsj.ixsq.nii.ac.jp:00200152, author = {保坂, 巧 and 西澤, 真一 and 岸田, 亮 and 松本, 高士 and 小林, 和淑 and T., Hosaka and S., Nishizawa and R., Kishida and T., Matsumoto and K., Kobayashi}, issue = {12}, month = {Nov}, note = {本論文ではコンパクトな負バイアス温度不安定性 (NBTI) モデルを提案する.提案モデルは反応拡散 (tn) およびホールトラッピング (log(t)) モデルに基づいている.単発長期の DC ストレス/リカバリ測定から得られたデータを利用し,DCストレス/リカバリだけでなく AC ストレス/リカバリを表現可能なモデルパラメータを抽出する.モデルパラメータ抽出に優先順位をつけることで,デューティ比の異なる AC ストレス/リカバリ特性を表現可能であることを示す., In this paper, simple and compact Negative Bias Temperature Instabilily (NBTI) model is proposed. The model is based on the reaction-difiusion (tn) and hole-trapping (log(t)) theories. Data with a single shot of DC stress and recovery are utilized to extract model parameters. Our key idea is setting the priority in the model fitting process to be possible for replicating AC dependency of NBTI stress and recovery effect. The proposed model successfully replicates stress and recovery with various duty cycles.}, title = {単発DCストレス測定による負バイアス温度不安定性のAC特性を再現可能なモデル}, year = {2019} }