| Item type |
SIG Technical Reports(1) |
| 公開日 |
2018-11-28 |
| タイトル |
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タイトル |
最適ハイパーパラメータ下での機械学習に基づくリソグラフィホットスポット検出手法の比較検討 |
| タイトル |
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言語 |
en |
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タイトル |
Comparison of Machine Learning-Based Lithography Hotspot Detection Methods under Optimized Hyperparameters |
| 言語 |
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言語 |
jpn |
| キーワード |
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主題Scheme |
Other |
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主題 |
信頼性設計 |
| 資源タイプ |
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資源タイプ識別子 |
http://purl.org/coar/resource_type/c_18gh |
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資源タイプ |
technical report |
| 著者所属 |
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広島市立大学大学院情報科学研究科 |
| 著者所属 |
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広島市立大学大学院情報科学研究科 |
| 著者所属 |
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広島市立大学大学院情報科学研究科 |
| 著者所属 |
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広島市立大学大学院情報科学研究科 |
| 著者所属(英) |
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en |
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Graduate School of Information Sciences, Hiroshima City University |
| 著者所属(英) |
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en |
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Graduate School of Information Sciences, Hiroshima City University |
| 著者所属(英) |
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en |
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Graduate School of Information Sciences, Hiroshima City University |
| 著者所属(英) |
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en |
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Graduate School of Information Sciences, Hiroshima City University |
| 著者名 |
片岡, 岳
稲木, 雅人
永山, 忍
若林, 真一
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| 著者名(英) |
Gaku, Kataoka
Masato, Inagi
Shinobu, Nagayama
Shin'ichi, Wakabayashi
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| 論文抄録 |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
近年のリソグラフィプロセスの微細化に伴い，露光光の回折によるレイアウトパターンの転写不良が問題となっている．そこで機械学習を用いて転写不良を引き起こす確率が高いレイアウトパターンであるホットスポットを検出する手法する手法が提案されている．著者らは，機械学習に基づくホットスポット検出のための，配線間距離を考慮した新たな特徴量を提案しているが，特定のハイパーパラメータ下での評価しか行っていなかった．本稿では様々なハイパーパラメータ下において提案特徴量と既存特徴量の比較実験を行い，提案特徴量の有効性を検討する． |
| 論文抄録(英) |
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内容記述タイプ |
Other |
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内容記述 |
Due to the shrinking lithography process, failures of transferring circuit layout patterns, because of diffraction of light, are becoming more serious. Hence, machine-learning based hotspot detection methods, which detect layout patterns that cause such failures with a high probability, have been proposed. In an existing study, we proposed new feature vectors considering distances between wires for machine-learning based hotspot detection. However, in the study, we evaluated them only under limited hyperparameter values. In this paper, we evaluate our proposed and existing feature vectors under various hyperparameter values to fairly compare them. |
| 書誌レコードID |
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収録物識別子タイプ |
NCID |
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収録物識別子 |
AA12149313 |
| 書誌情報 |
研究報告組込みシステム（EMB）
巻 2018-EMB-49,
号 41,
p. 1-6,
発行日 2018-11-28
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| ISSN |
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収録物識別子タイプ |
ISSN |
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収録物識別子 |
2188-868X |
| Notice |
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SIG Technical Reports are nonrefereed and hence may later appear in any journals, conferences, symposia, etc. |
| 出版者 |
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言語 |
ja |
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出版者 |
情報処理学会 |
IPSJ-EMB18049041.pdf (1.9 MB)
