@article{oai:ipsj.ixsq.nii.ac.jp:00010605,
 author = {北浦, 直樹 and 越智, 裕之 and 津田, 孝夫 and Naoki, Kitaura and Hiroyuki, Ochi and Takao, Tsuda},
 issue = {6},
 journal = {情報処理学会論文誌},
 month = {Jun},
 note = {レイアウトの設計規則検査（DRC: Design Rule Check）をDRCツールを用いて実行するためには，設計規則をツール固有の書式で表したルールファイルが必要であり，これは通常，書面の設計規則書に基づき人手で作成される．この人手で作成されたルールファイルそのものの検証を支援するため，我々はルールファイルから設計規則を抽出して可視化することに取り組んできた．すでに我々は，設計規則違反を報告する命令に対応づけられた表示用テンプレートと，そこで参照されるレイヤの表示アルゴリズムをそれぞれ用意し，少ないテンプレートで様々なルールファイル記述に対応することを狙った手法を提案し，その有用性を示した．本論文では上の手法をさらに改良し，より微細なプロセスへ対応するべく，表示するレイヤのモデリングに使用するパラメータの拡張と抽出データ，テンプレートを追加した手法を提案する．追加した抽出データは独立関係（2つのレイヤが重ならない），継承関係（一方のレイヤが他方のレイヤをもとに生成された），最小間隔，最小重なり距離である．提案手法に基づき可視化ツールを実装した結果，237 個の設計規則を持つ0.13μm メタル5層プロセスのルールファイルに対し，9種のテンプレートにより196 個の設計規則が規則書とほぼ同様に表示された．, In order to use a DRC (Design Rule Check) tool to perform physical layout verification, a tool-specific rule file which describes the design rule is required. A rule file is usually created manually, based on the design rule given by documents. To support the verification of the manually-created rule file itself, we have tried to extract and visualize the design rule from a DRC rule file. We have already proposed a method based on a display template corresponding to an error-reporting command and, independently, a display algorithm for reference layers, to cover various kind of rule file descriptions with small number of templates, and we have shown its effectiveness. In this paper, we will propose an improved method which is applicable for miniaturized technologies, based on enhanced parameters for medeling reference layers and additional extracted data and display templates. The additional extracted data are unoverlapping relation, extends relation, minimum space, and minimum enclosure. From experimental results using developed tool based on the proposed method, 196 out of 237 design rules of a 0.13-μm 5-layer-metal process are displayed similarly to the design rule manual using 9 display templates.},
 pages = {1404--1415},
 title = {微細テクノロジ向けDRCルールファイルからの設計規則抽出とその可視化},
 volume = {46},
 year = {2005}
}