クラスタリングを用いたレイアウトパターン分類の一手法

• Item type: SIG Technical Reports(1)
• 公開日: 2017-05-03
• タイトル: クラスタリングを用いたレイアウトパターン分類の一手法
• タイトル / 言語: en
• タイトル: A Method of Layout Pattern Classification Using Clustering
• 言語: jpn
• キーワード / 主題Scheme: Other
• キーワード / 主題: 物理・レイアウト設計
• 資源タイプ / 資源タイプ識別子: http://purl.org/coar/resource_type/c_18gh
• 資源タイプ: technical report
• 著者所属: 東京農工大学工学府電気電子工学専攻
• 著者所属: 東京農工大学工学府電気電子工学専攻
• 著者所属: 東京農工大学工学府電気電子工学専攻
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Tokyo University of Agriculture and Technology
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Tokyo University of Agriculture and Technology
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Tokyo University of Agriculture and Technology
• 著者名: 石野, 修平; 長谷川, 充; 藤吉, 邦洋
• 著者名(英): Shuhei, Ishino; Mitsuru, Hasegawa; Kunihiro, Fujiyoshi
• 論文抄録 / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録 / 内容記述: 集積回路のレイアウト設計はデザインルールを順守して行われるが，微細加工が進んだために，露光の際に問題が発生する可能性が高い箇所が生じてしまうことがある．このような箇所はプロセスシミュレーションを行うことで発見可能だが，時間がかかるため，近年では代替手法として，問題のあった箇所を周囲を含めて指定サイズで切り出し （以降クリップと呼ぶ)，似たクリップ同士をグループ分けしてライブラリを作成しておき，レイアウトのチェックの際には，ライブラリ内のクリップに似たものをレイアウトから探す手法が実用化されている．本稿では，同一グループのクリップが面積などの物理量の観点で，与えられた範囲内に収まるグループ分けを行う．これは NP 困難な最小支配集合問題となるため ILP ソルバーで解くが，問題のサイズが大きいと実用的な時間で解を求めることができない．そこで，ILP の前に，クリップ集合に機械学習のクラスタリングを行い，得られたクラスタごとに ILP ソルバーで解くというグループ分け手法を提案する．そして提案手法を計算機実装して実験を行い，ILP と組み合わせて実用的な時間で解を求めるという条件において有効な機械学習のクラスタリングを調べる．また，比較実験により提案手法の有効性を確認した．
• 論文抄録(英) / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録(英) / 内容記述: Layout of VLSI circuits is designed according to design rule, however, hotspots may remain due to feature size shrinking. In recent years, we group layout clips of hotspots of similar pattern to create library, which is used to detect hotspots from new layout. The grouping of layout clips is called Layout Pattern Classification. In this paper, we propose a method of layout pattern classification using clustering of machine learning before ILP. Experimental results indicate the effectiveness of the proposed method.
• 書誌レコードID / 収録物識別子タイプ: NCID
• 書誌レコードID / 収録物識別子: AA11451459
• 書誌情報: 研究報告システムとLSIの設計技術（SLDM）; 巻 2017-SLDM-180, 号 4, p. 1-6, 発行日 2017-05-03
• ISSN / 収録物識別子タイプ: ISSN
• ISSN / 収録物識別子: 2188-8639
• Notice: SIG Technical Reports are nonrefereed and hence may later appear in any journals, conferences, symposia, etc.
• 出版者 / 言語: ja
• 出版者: 情報処理学会