LSIテストにおけるフェイル予測のためのばらつき補正に関する検討

• Item type: SIG Technical Reports(1)
• 公開日: 2016-03-17
• タイトル: LSIテストにおけるフェイル予測のためのばらつき補正に関する検討
• タイトル / 言語: en
• タイトル: A consideration on variation correction for fail prediction in LSI test
• 言語: jpn
• キーワード / 主題Scheme: Other
• キーワード / 主題: FPGA・ディペンダビリティ
• 資源タイプ / 資源タイプ識別子: http://purl.org/coar/resource_type/c_18gh
• 資源タイプ: technical report
• 著者所属: 奈良先端科学技術大学院大学情報科学研究科
• 著者所属: ルネサスセミコンダクタパッケージ＆テストソリューションズ
• 著者所属: 株式会社奈良先端科学技術大学院大学情報科学研究科
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Nara Institute of Science and Technology
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Renesas Semiconductor Package & Test Solutions Co., Ltd.
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Nara Institute of Science and Technology
• 著者名: 小河, 亮; 中村, 芳行; 井上, 美智子
• 著者名(英): Ryo, Ogawa; Yoshiyuki, Nakamura; Michiko, Inoue
• 論文抄録 / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録 / 内容記述: 近年，データマイニングを用いたテストコスト削減手法が注目を集めている．LSI は多数のテスト工程を経て市場に出荷される．この際，前段のテストの結果から後段のテストでフェイルする LSI を予測できれば，後段のテストを省略し，テストコストを削減することができる．しかし， LSI の特性は製造の際にばらついてしまう．また，テストの際に計測装置ごとに計測値のばらつきが発生する．そのため， LSI の特性やテスト方法に即したばらつきの補正をしなければフェイル予測は難しい．本稿では，製造ばらつきであるパッケージロット間ばらつき，計測ばらつきであるテスタ間およびテスタサイト間のばらつき補正手法を提案する．また，そのばらつき補正方法の効果の有無を評価する手法を提案し，補正手法の有効性を示す．さらに，提案するばらつき補正方法がフェイル予測に有効であることを示す．
• 論文抄録(英) / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録(英) / 内容記述: Recently, a test cost reduction using data mining has been attracted. It is expected to reduce the cost by predicting faihng LSIs in later test processes using result of earlier test processes. However measured values in test processes have variation caused by the manufacturing and measurements themselves. Therefore, it is difficult to predict tests results without correction. In this paper, we propose variation correction method that corrects variations among package-lots, testers, and tester-sites respectively. We also propose a method to evaluate the effectiveness of correction and show that the proposed correction method is effective. Finally, we will consider how the proposed correction method is effective to fail prediction during LSI testing.
• 書誌レコードID / 収録物識別子タイプ: NCID
• 書誌レコードID / 収録物識別子: AN10096105
• 書誌情報: 研究報告システム・アーキテクチャ（ARC）; 巻 2016-ARC-219, 号 46, p. 1-6, 発行日 2016-03-17
• ISSN / 収録物識別子タイプ: ISSN
• ISSN / 収録物識別子: 2188-8574
• Notice: SIG Technical Reports are nonrefereed and hence may later appear in any journals, conferences, symposia, etc.
• 出版者 / 言語: ja
• 出版者: 情報処理学会