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半導体プロセス診断エキスパートシステム
https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/records/15206
https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/records/1520620e24d9e-fd6a-49a7-94fb-d9289c0a5998
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
IPSJ-JNL3007013.pdf (351.7 kB)
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Copyright (c) 1989 by the Information Processing Society of Japan
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| オープンアクセス | ||
| Item type | Journal(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 1989-07-15 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 半導体プロセス診断エキスパートシステム | |||||||
| タイトル | ||||||||
| 言語 | en | |||||||
| タイトル | Knowledge Based Process Diagnosis Expert System for LSI Manufacturing | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||
| 主題 | ショートノート | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||
| 著者所属 | ||||||||
| （株）日立製作所システム開発研究所 | ||||||||
| 著者所属 | ||||||||
| （株）日立製作所システム開発研究所 | ||||||||
| 著者所属 | ||||||||
| （株）日立製作所システム開発研究所 | ||||||||
| 著者所属(英) | ||||||||
| en | ||||||||
| Systems Development Laboratory, Hitachi, Ltd | ||||||||
| 著者所属(英) | ||||||||
| en | ||||||||
| Systems Development Laboratory, Hitachi, Ltd | ||||||||
| 著者所属(英) | ||||||||
| en | ||||||||
| Systems Development Laboratory, Hitachi, Ltd | ||||||||
| 著者名 |
栗原, 謙三
× 栗原, 謙三
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| 著者名(英) |
Kenzo, Kurihara
× Kenzo, Kurihara
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| 論文抄録 | ||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||
| 内容記述 | 半導体製品の微細化が進んだ現在 各工程での作業結果の良否を直接調べること あるいは素子構造パラメータと素子特性との関係を解析することがますます困難となりつつある.そのため TEGと呼ばれる部分拭作テストパターンによる素子構造解析や素子特性解析の重要性が増大している.一方 TEGデータの解析には 数式モデルに代表される理論的知識だけでなく 技術者の経験的知識が必要である.このような背最から 半導体プロセス診断の迅速化を目的に 組織的にTEGを設計し その測定データを理輪的知識で数値処理するとともに その数値処理結果を複数技術者の経験的知識で解析する診断システムTEGMAPを開発した. | |||||||
| 書誌レコードID | ||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||
| 収録物識別子 | AN00116647 | |||||||
| 書誌情報 |
情報処理学会論文誌 巻 30, 号 7, p. 918-921, 発行日 1989-07-15 |
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| ISSN | ||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||
| 収録物識別子 | 1882-7764 | |||||||
