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アイテム
プリント基板パターンの圧縮記憶方式
https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/records/115792
https://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/records/1157929af5f6ee-35fc-4c0b-b18a-05c4b64bc488
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KJ00001331053.pdf (145.3 kB)
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| Item type | National Convention(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 1988-09-12 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | プリント基板パターンの圧縮記憶方式 | |||||
| タイトル | ||||||
| 言語 | en | |||||
| タイトル | Method of Data Compression and Storing for Printed Circuit Board Pattern | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_5794 | |||||
| 資源タイプ | conference paper | |||||
| 著者所属 | ||||||
| (株)日立製作所 生産技術研究所 | ||||||
| 著者所属 | ||||||
| (株)日立製作所 生産技術研究所 | ||||||
| 著者所属 | ||||||
| 日立ビデオエンジニアリング(株) | ||||||
| 著者所属 | ||||||
| 日立ビデオエンジニアリング(株) | ||||||
| 著者所属(英) | ||||||
| en | ||||||
| Hitachi, Ltd. | ||||||
| 著者所属(英) | ||||||
| en | ||||||
| Hitachi, Ltd. | ||||||
| 著者所属(英) | ||||||
| en | ||||||
| Hitachi Video Engineering, Inc. | ||||||
| 著者所属(英) | ||||||
| en | ||||||
| Hitachi Video Engineering, Inc. | ||||||
| 論文抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | プリント基板のパターン外観検査装置に用いられる欠陥検査の方式として、同一の形状を持つ2組のプリント基板パターンの対応部分をお互いに比較する方式が知られている。この実物パターン同士の比較検査方式は、比較的簡単な構成で精度良く検査できる反面、ホトマスク欠陥に起因する欠陥は検出できないこと、パターンが2組ないと検査できないこと等の短所があった。ホトマスク起因の欠陥を検出し、また1組のパターンでも検査できるようにするためにあらかじめ基準パターンを記憶し、被検査パターンと比較検査する方式について検討した。プリント基板パターンの情報量は、例えば大きさが500×600mm,10μmの分解能の場合約370MByteと膨大である。このためプリント基板パターンを高速に圧縮・記憶し、検査時に圧縮・記憶されたデータを伸長して手本パターンとし、比較検査する方式について検討した。圧縮法として2次元M^2R符号化法を採用し、並列に圧縮伸長動作を行う実験回路を製作したので報告する。 | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00349328 | |||||
| 書誌情報 |
全国大会講演論文集 巻 第37回, 号 パターン処理, p. 1554-1555, 発行日 1988-09-12 |
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| 出版者 | ||||||
| 言語 | ja | |||||
| 出版者 | 情報処理学会 | |||||
