クリティカルエリアに基づくブリッジ故障テスト生成および評価に関する一考察

• Item type: SIG Technical Reports(1)
• 公開日: 2014-11-19
• タイトル: クリティカルエリアに基づくブリッジ故障テスト生成および評価に関する一考察
• タイトル / 言語: en
• タイトル: Note on Weighted Fault Coverage Considering Multiple Defect Sizes and Via Open
• 言語: jpn
• キーワード / 主題Scheme: Other
• キーワード / 主題: テスト設計手法
• 資源タイプ / 資源タイプ識別子: http://purl.org/coar/resource_type/c_18gh
• 資源タイプ: technical report
• 著者所属: 日本大学生産工学部／首都大学東京大学院システムデザイン研究科
• 著者所属: 首都大学東京大学院システムデザイン研究科
• 著者所属: 首都大学東京学術情報基盤センター
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): College of Industrial Technology, Nihon University / Graduate School of System Design, Tokyo Metropolitan University
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Graduate School of System Design, Tokyo Metropolitan University
• 著者所属(英): en
• 著者所属(英): Library and Academic Information Center, Tokyo Metropolitan University
• 著者名: 新井, 雅之; 中山, 裕太; 岩崎, 一彦
• 著者名(英): Masayuki, Arai; Yuta, Nakayama; Kazuhiko, Iwasaki
• 論文抄録 / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録 / 内容記述: 半導体製造技術の微細化･高集積化に伴い，欠陥レベルの事前見積り値と実製品に対する値との乖離が問題となっている．本稿では，欠陥レベルを高精度に見積もるための一手法として，異なる欠陥粒径とブリッジ欠陥を考慮した重み付きブリッジ故障カバレージの算出法について示す．少ないパターン数で高いカバレージを持つテストパターンセットの生成を目的として，クリテイカルエリアに基づく対象故障の絞り込みの効果について評価を行う．また，greedｙ アルゴリズムに基づくテストパターンセットの並べ替えについても検討する．縮退故障テストパターンセットより少ないテストパターン数で，99.9％の重み付きブリッジ故障カバレージを達成可能であることを示す．さらに，縮退故障の検出を保証するための，追加ブリッジ故障パターンの生成法についても検討する．
• 論文抄録(英) / 内容記述タイプ: Other
• 論文抄録(英) / 内容記述: Shrinking feature size and higher integration on semiconductor device manufacturing technology bring a problem of the gap between the defect level estimated at the design stage from the reported one for fabricated devices. In this study, as one possible strategy to accurately estimate the defect level, we discuss on a weighted bridge fault coverage estimation considering multiple different defect sizes. Aiming to generate more compact test pattern set with higher coverage, we evaluate the effectiveness of target fault prioritization based on critical area. We then investigate test pattern reordering based on greedy algorithm. The experimental results show that a test pattern set achieving more than 99.9% coverage can be obtained with even smaller number of patterns than those of stuck-at pattern set. We further discuss on generation of additional bridge fault pattern set in order to guarantee stuck-at faults detection.
• 書誌レコードID / 収録物識別子タイプ: NCID
• 書誌レコードID / 収録物識別子: AA11451459
• 書誌情報: 研究報告システムとLSIの設計技術（SLDM）; 巻 2014-SLDM-168, 号 30, p. 1-6, 発行日 2014-11-19
• Notice: SIG Technical Reports are nonrefereed and hence may later appear in any journals, conferences, symposia, etc.
• 出版者 / 言語: ja
• 出版者: 情報処理学会