2024-03-29T22:50:08Zhttps://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/ej/?action=repository_oaipmhoai:ipsj.ixsq.nii.ac.jp:000171202020-10-27T05:02:56Z00934:00989:00994:00997
適応型光近接効果補正技術の領域分割による高速化手法の提案と検証A Fast Method of Adaptive Optical Proximity Correction Using Region Segmentationjpnオリジナル論文http://id.nii.ac.jp/1001/00017120/Articlehttps://ipsj.ixsq.nii.ac.jp/ej/?action=repository_action_common_download&item_id=17120&item_no=1&attribute_id=1&file_no=1Copyright (c) 2007 by the Information Processing Society of Japan産業技術総合研究所次世代半導体研究センター半導体MIRAIプロジェクト筑波大学大学院システム情報工学研究科産業技術総合研究所次世代半導体研究センター半導体MIRAIプロジェクト産業技術総合研究所次世代半導体研究センター半導体MIRAIプロジェクト産業技術総合研究所次世代半導体研究センター半導体MIRAIプロジェクト 筑波大学大学院システム情報工学研究科野里, 博和松縄, 哲明坂無, 英徳村川, 正宏樋口, 哲也本論文では,半導体リソグラフィの光近接効果補正において,マスクレイアウトパターンを領域分割し,それぞれの領域を並列処理する高速化手法を提案した.我々は,すでに,半導体リソグラフィのマスク製造コストの削減を目指し,最適化手法を用いた適応型光近接効果補正技術(適応型OPC技術)を提案している.この適応型OPC 技術の特徴は,レイアウト後にOPC 調整する際,その調整で考慮する影響範囲を隣接するセルに限定しても,OPC 精度を落とさずに調整することができる点である.この技術の検証に用いる光学シミュレーションの計算時間は,計算面積の2 乗に比例して増加するので,なるべく計算面積を小さくすることができれば,OPC の計算時間を抑えることができる.そこで,本論文では,適応型OPC 技術の特徴を活かし,より効果的にOPC 計算を高速化するため,計算するレイアウトパターンを領域分割し,それぞれの領域を並列処理する高速化手法を提案する.提案手法を用いた実験の結果,並列処理の代表的なマスタスレーブモデルと比較して,約2倍の高速化を実現し,最先端プロセスで求められている要求精度3%を満たすOPC 精度を得ることができた.本提案手法を導入することで,適応型OPC 技術が,最先端プロセスにおける大規模なレイアウトパターンにも適用できる見通しを得た.This paper proposes a fast method of adaptive optical proximity correction (OPC) using region segmentation. We have demonstrated the adaptive OPC technique using genetic algorithm which is an efficient optimization technique based on population genetics. When this method is applied to full-chip OPC, it is difficult to optimize OPC features efficiently. This is because the adaptive OPC method can only correct the OPE which is dependent on neighboring patterns. In order to overcome this problem, we propose a fast method of adaptive OPC using region segmentation. This proposed method partitions mask layout by region segmentation for adaptive OPC methods. Moreover, this region segmentation can use parallel processing for OPC optimization. In a conducted experiment, we successfully corrected OPC features by the proposed OPC method with six processors, which was two times faster than the Master-Slave model with six processors.AA11464803情報処理学会論文誌数理モデル化と応用(TOM)48SIG6(TOM17)75852007-03-151882-77802009-06-30