@techreport{weko_79485_1,
   author	 = "野嶋,茂樹",
   title	 = "［基調講演］リソグラフィの歴史と今後の展望",
   year 	 = "2011",
   institution	 = "(株) 東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター",
   number	 = "30",
   month	 = "nov"
}