@techreport{weko_79480_1,
   author	 = "児玉,親亮 and 中山,幸一 and 小谷,敏也 and 野嶋,茂樹 and 三本木,省次 and 宮本,晋示",
   title	 = "超微細化を実現する側壁ダブルパターニングのためのレイアウト設計手法",
   year 	 = "2011",
   institution	 = "(株) 東芝セミコンダクター＆ストレージ社, (株) 東芝セミコンダクター＆ストレージ社, (株) 東芝セミコンダクター＆ストレージ社, (株) 東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター, (株) 東芝研究開発センターデバイスプロセス開発センター, (株) 東芝セミコンダクター＆ストレージ社",
   number	 = "25",
   month	 = "nov"
}