@article{weko_63465_1,
   author	 = "小林,敏夫 and 松永,準一 and 小澤時典",
   title	 = "40周年記念特集号：【情報処理技術-過去十年そして今後の十年-】半導体プロセス技術",
   journal	 = "情報処理",
   year 	 = "2000",
   volume	 = "41",
   number	 = "5",
   pages	 = "498--503",
   month	 = "may"
}