@article{weko_6050_1,
   author	 = "西ヶ谷,勲 and 堀,緩彦",
   title	 = "ファクトリオートメーション：FA の実例：LSI 製造プロセス",
   journal	 = "情報処理",
   year 	 = "1984",
   volume	 = "25",
   number	 = "4",
   month	 = "apr"
}