@techreport{weko_53726_1,
   author	 = "酒匂,裕 and 依田,晴夫 and 江尻,正員",
   title	 = "半導体ウェハパターンのための実時間外観検査アルゴリズム",
   year 	 = "1986",
   institution	 = "（株）日立製作所中央研究所, （株）日立製作所中央研究所, （株）日立製作所中央研究所",
   number	 = "18(1985-CVIM-041)",
   month	 = "mar"
}