@techreport{weko_52145_1, author = "酒井薫 and 前田俊二", title = "特徴空間の再帰的分割に基づく半導体欠陥検査手法", year = "2006", institution = "日立製作所生産技術研究所, 日立製作所生産技術研究所", number = "93(2006-CVIM-155)", month = "sep" }