@techreport{weko_33115_1,
   author	 = "野里,博和 and 松縄,哲明 and 坂無,英徳 and 村川,正宏 and 樋口,哲也",
   title	 = "適応型光近接効果補正技術の領域分割による高速化手法の提案と検証",
   year 	 = "2006",
   institution	 = "半導体ＭＩＲＡＩプロジェクト，産業技術総合研究所次世代半導体研究センター, 筑波大学大学院システム情報工学研究科, 半導体ＭＩＲＡＩプロジェクト，産業技術総合研究所次世代半導体研究センター, 半導体ＭＩＲＡＩプロジェクト，産業技術総合研究所次世代半導体研究センター, 半導体ＭＩＲＡＩプロジェクト，産業技術総合研究所次世代半導体研究センター 筑波大学大学院システム情報工学研究科",
   number	 = "95(2006-MPS-061)",
   month	 = "sep"
}