@techreport{weko_33063_1, author = "松縄,哲明 and 野里博和 and 坂無英徳 and 村川,正宏 and 高橋,栄一 and 寺澤,恒男 and 田中,稔彦 and 須賀,治 and 樋口,哲也", title = "Influential領域を導入した適応型光近接効果補正技術の提案", year = "2006", institution = "筑波大学大学院システム情報工学研究科, 半導体MIRAIプロジェクト産業技術総合研究所MIRAI-ASRO,AIST, 半導体MIRAIプロジェクト産業技術総合研究所MIRAI-ASRO,AIST, 半導体MIRAIプロジェクト産業技術総合研究所MIRAI-ASRO,AIST, 半導体MIRAIプロジェクト産業技術総合研究所MIRAI-ASRO,AIST, (株)半導体先端テクノロジーズ, (株)半導体先端テクノロジーズ, (株)半導体先端テクノロジーズ, 筑波大学大学院システム情報工学研究科/半導体MIRAIプロジェクト産業技術総合研究所MIRAI-ASRO,AIST", number = "135(2006-MPS-062)", month = "dec" }