@techreport{weko_33049_1, author = "村田,信治 and 野里博和 and 古谷,立美 and 村川,正宏", title = "確率的二分探索法を用いた多目的光軸自動調整手法の提案と検証", year = "2007", institution = "東邦大学大学院理学研究科, 産業技術総合研究所次世代半導体研究センター, 東邦大学大学院理学研究科, 産業技術総合研究所次世代半導体研究センター", number = "19(2007-MPS-063)", month = "mar" }