@techreport{weko_28563_1,
   author	 = "築添明 and 三浦地平 and 小澤時典",
   title	 = "マスクパターンの図形演算手法",
   year 	 = "1979",
   institution	 = "（株）日立製作所　中央研究所, （株）日立製作所　中央研究所, （株）日立製作所　中央研究所",
   number	 = "36(1979-SLDM-003)",
   month	 = "dec"
}