@techreport{weko_28551_1,
   author	 = "千葉俊明 and 三橋隆 and 高島誠 and 吉田憲司",
   title	 = "LSIマスクアートワーク解析システムとその応用",
   year 	 = "1980",
   institution	 = "東京芝浦電気（株）半導体事業部, 東京芝浦電気（株）半導体事業部, 東京芝浦電気（株）半導体事業部, 東京芝浦電気（株）半導体事業部",
   number	 = "35(1980-SLDM-007)",
   month	 = "dec"
}