@techreport{weko_28522_1,
   author	 = "中野敏宏 and 吉田健一 and 犬伏恒雄",
   title	 = "LSIマスクパターンの電気的及び論理的な接続検査システムELITEについて",
   year 	 = "1982",
   institution	 = "シャープ株式会社, シャープ株式会社, シャープ株式会社",
   number	 = "51(1982-SLDM-015)",
   month	 = "dec"
}