@techreport{weko_28521_1,
   author	 = "羽山繁 and 渡里祐子 and 京井淳子 and 間野洋治郎",
   title	 = "マスク解析システムPANAMAP－M",
   year 	 = "1982",
   institution	 = "松下電器産業（株）中央研究所, 松下電器産業（株）中央研究所, 松下電器産業（株）中央研究所, 松下電器産業（株）中央研究所",
   number	 = "51(1982-SLDM-015)",
   month	 = "dec"
}