@techreport{weko_28418_1,
   author	 = "石川,操 and 田沢,聡 and 和田,康",
   title	 = "LSI試作ラインにおけるプロセス設計支援システム",
   year 	 = "1986",
   institution	 = "電気通信大学, NTT電気通信研究所, NTT電気通信研究所",
   number	 = "85(1986-SLDM-035)",
   month	 = "dec"
}