@techreport{weko_28417_1,
   author	 = "佐藤,康夫 and 湯山,恭史 and 岩倉良夫 and 三宅統一 and 西山良範 and 池本康博",
   title	 = "大規模LSI向3層分割配線手法",
   year 	 = "1986",
   institution	 = "（株）日立製作所, （株）日立製作所, （株）日立製作所, （株）日立製作所, （株）日立製作所, （株）日立製作所",
   number	 = "85(1986-SLDM-035)",
   month	 = "dec"
}