@techreport{weko_28266_1,
   author	 = "鈴木,俊夫 and 杉山,俊樹 and 島田,豊 and 浅沼,利文 and 岡,佑一",
   title	 = "電子線描画データ変換システムにおけるデータ圧縮法",
   year 	 = "1990",
   institution	 = "（株）日立製作所, （株）日立製作所, 日立コンピュータエンジニアリング（株）, 日立コンピュータエンジニアリング（株）, 日立コンピュータエンジニアリング（株）",
   number	 = "14(1989-SLDM-051)",
   month	 = "feb"
}