@techreport{weko_28205_1, author = "鈴木,五郎 and 山本,哲也 and 夏目,幸一郎 and 岡村,芳雄", title = "高密度マクロセルジェネレータMOSAIC", year = "1991", institution = "(株)日立製作所 日立研究所, (株)日立製作所 日立研究所, (株)日立製作所 日立研究所, (株)日立製作所 デバイス開発センター", number = "58(1991-SLDM-058)", month = "jul" }