@techreport{weko_28002_1, author = "田中,博 and 金沢,正博 and 田中,秀彦 and 佐藤政生 and 大附,辰夫", title = "スケッチ表現に基づく多層配線システム", year = "1994", institution = "早稲田大学 理工学部, 早稲田大学 理工学部, 早稲田大学 理工学部, 早稲田大学 理工学部, 早稲田大学 理工学部", number = "15(1993-SLDM-070)", month = "feb" }