@techreport{weko_27785_1,
   author	 = "堀内,重則 and 古田,康幸 and 鈴木,五郎",
   title	 = "ディープサブミクロンゲートアレイの設計事例",
   year 	 = "1997",
   institution	 = "株式会社　日立製作所　大みか工場, 株式会社　日立製作所　大みか工場, 株式会社　日立製作所　大みか工場",
   number	 = "103(1997-SLDM-085)",
   month	 = "oct"
}