@techreport{weko_27691_1, author = "佐藤,正幸", title = "メモリ仮想テスタ技術と今後の展開", year = "1999", institution = "日立製作所 半導体事業本部 生産統括本部 生産技術開発センタ テスト技術部", number = "12(1998-SLDM-091)", month = "feb" }