@techreport{weko_24347_1,
   author	 = "小山,清美 and 池永,修 and 馬越俊幸 and 渡辺,進 and 斉藤,玉樹 and 大木,慎一郎 and 坂本,信二",
   title	 = "可変成形ビーム描画装置用高速データ変換システムの開発",
   year 	 = "1993",
   institution	 = "東芝研究開発センター, 東芝研究開発センター, 東芝研究開発センター, 東芝半導体技術センター, 東芝マイクロエレクトロニクス, 東芝マイクロエレクトロニクス, 東芝マイクロエレクトロニクス",
   number	 = "6(1992-ARC-098)",
   month	 = "jan"
}