@techreport{weko_237596_1,
   author	 = "青山,智哉 and 杉山,萌 and 新井,雅之 and 福本,聡",
   title	 = "CapsNetベースウェハマップ欠陥パターン分類法における分類精度向上の試み～生成画像の適用およびデコーダリサイズの検討～",
   year 	 = "2024",
   institution	 = "東京都立大学大学院システムデザイン研究科, 日本大学生産工学部, 日本大学生産工学部, 東京都立大学大学院システムデザイン研究科",
   number	 = "2",
   month	 = "aug"
}