@techreport{weko_226822_1,
   author	 = "井出,創一朗 and 横川,智教 and 坂田,功介 and 山本,真裕 and 有本,和民",
   title	 = "Raspberry Piボードを用いたウェハーアラインメントシステムの実装と評価",
   year 	 = "2023",
   institution	 = "岡山県立大学, 岡山県立大学, タツモ株式会社, タツモ株式会社, 岡山県立大学",
   number	 = "3",
   month	 = "jul"
}