@techreport{weko_225404_1, author = "山中,祐輝 and 永村,美一 and 新井,雅之 and 福本,聡", title = "CapsNetを用いた高解像度ウェハマップの欠陥パターン分類法におけるScratch再構成に関する考察", year = "2023", institution = "東京都立大学大学院システムデザイン研究科電子情報システム工学域, 東京都立大学大学院システムデザイン研究科電子情報システム工学域, 日本大学 生産工学部, 東京都立大学大学院システムデザイン研究科電子情報システム工学域", number = "17", month = "mar" }