@techreport{weko_222442_1,
   author	 = "野中,尚貴 and 小平,行秀 and 高橋,篤司 and 児玉,親亮",
   title	 = "ボロノイ分割と繰り返し改善によるマスク最適化手法",
   year 	 = "2022",
   institution	 = "会津大学コンピュータ理工学部, 会津大学コンピュータ理工学部, 東京工業大学工学院, キオクシア株式会社",
   number	 = "23",
   month	 = "nov"
}