@techreport{weko_220326_1,
   author	 = "山中,祐輝 and 永村,美一 and 新井,雅之 and 福本,聡",
   title	 = "CapsNetを用いた高解像度ウェハマップの欠陥パターン分類法に関する考察",
   year 	 = "2022",
   institution	 = "東京都立大学院システムデザイン研究科電子情報システム工学域",
   number	 = "13",
   month	 = "oct"
}