@techreport{weko_214052_1, author = "小平,行秀 and 中山,晴貴 and 野中,尚貴 and 松井,知己 and 高橋,篤司 and 児玉,親亮", title = "シミュレーテッド量子アニーリングを用いたマスク最適化手法", year = "2021", institution = "会津大学コンピュータ理工学部, 会津大学コンピュータ理工学部, 会津大学コンピュータ理工学部, 東京工業大学工学院, 東京工業大学工学院, キオクシア株式会社", number = "37", month = "nov" }