@inproceedings{weko_212637_1,
   author	 = "山本,真大 and 稲木,雅人 and 永山,忍 and 若林,真一 and 児玉,親亮",
   title	 = "リソグラフィホットスポット検出における特徴量評価用データセット生成手法の改良",
   booktitle	 = "DAシンポジウム2021論文集",
   year 	 = "2021",
   volume	 = "2021",
   number	 = "",
   pages	 = "119--126",
   month	 = "aug"
}